吕平太雷, 王健, 李文宏, 张彧哲, 宋家玮, 岳亚洲
微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)陀螺的电容检测电路功能是将陀螺敏感电容变化量转换为可经数字系统处理的电压,其性能是影响陀螺精度的重要因素之一。为实现低噪声、高性能的电容转电压电路,提出了一种基于二极管包络解调的低噪声电容检测电路。核心电路由电荷敏感放大器和二极管包络解调电路构成,通过分析解调机理,给出不显著影响解调效率的滤波电容电阻与调制信号范围,然后建立噪声模型,明确主导噪声的参数,分析不同参数下的噪声变化情况,进而优化电路噪声。经实验测试,调制信号的临界值为1.064 V,略低于理论值1.201 V,误差来自二极管非线性特性,在临界值内读出信号的谐波失真度不超过0.67%。同时,测得陀螺工作频率处的电路噪声电压谱密度为-133.6 dBV/Hz1/2,与理论计算结果基本一致。