浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

万蔡辛, 李丹东, 张承亮, 薛旭

Study on air damping of three sorts of capacitive micro-accelerometers

Wan Caixin, Li Dandong, Zhang Chengliang, Xue Xu

导航与控制 . 2011, (1): 45 -47 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.010