浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.010

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (1) : 45-47. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.010

仪表与电路

浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

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Study on air damping of three sorts of capacitive micro-accelerometers

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2011-02-05
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