硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展
姚保寅, 冯丽爽, 周震, 迟媛媛
Technologies and Development of Silicon Oscillating Accelerometer(SOA)
Yao Baoyin, Feng Lishuang, Zhou Zhen, Chi Yuanyuan
导航与控制 . 2011, (1): 33 -40 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.008

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