硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.008

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (1) : 33-40. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.008

仪表与电路

硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展

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Technologies and Development of Silicon Oscillating Accelerometer(SOA)

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