硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

杨博, 阚宝玺, 徐宇新, 胡启方

Research Status and Development Trend of Silicon Resonant Accelerometer

YANG Bo, KAN Bao-xi, XU Yu-xin, HU Qi-fang

导航与控制 . 2017, (4): 96 -106 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.04.017