硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2017.04.017

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导航与控制 ›› 2017, Vol. 16 ›› Issue (4) : 96-106. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.04.017

综述与动态

硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

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Research Status and Development Trend of Silicon Resonant Accelerometer

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收稿日期	出版日期
2017-07-03	2017-08-05
发布日期
2020-02-25

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