MEMS谐振梁加速度计的误差抑制技术研究

MEMS谐振梁加速度计的误差抑制技术研究

马宇琨, 李浩南, 刘云峰, 韩丰田

Error Suppression of MEMS Resonant Beam Accelerometers

MA Yukun, LI Haonan, LIU Yunfeng, HAN Fengtian

导航与控制 . 2025, (3-4): 92 -100 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.008