MEMS谐振梁加速度计的误差抑制技术研究

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.008

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 92-100. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.008

MEMS惯性技术专辑

MEMS谐振梁加速度计的误差抑制技术研究

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Error Suppression of MEMS Resonant Beam Accelerometers

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收稿日期	出版日期
2025-04-16	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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