晶圆级机电控制SiP技术研究
李居强, 廉运河, 王梦雅, 顾林
Research on Wafer Level Electromechanical Control SiP Technology
LI Ju-qiang, LIAN Yun-he, WANG Meng-ya, GU Lin
导航与控制 . 2022, (3-4): 78 -84 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.009

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