基于结构参数的硅谐振式加速度计频率特性分析

郭雪涛, 李逸伦, 李鹏飞

Frequency Characteristic Analysis of Silicon Resonant Accelerometer Based on Structure Parameters

GUO Xue-tao, LI Yi-lun, LI Peng-fei

导航与控制 . 2021, (2): 68 -73 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2021.02.010