基于结构参数的硅谐振式加速度计频率特性分析

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2021.02.010

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导航与控制 ›› 2021, Vol. 20 ›› Issue (2) : 68-73. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2021.02.010

传感器与执行机构

基于结构参数的硅谐振式加速度计频率特性分析

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Frequency Characteristic Analysis of Silicon Resonant Accelerometer Based on Structure Parameters

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2021-01-18
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