徐建营
导航与控制. 2002, 1(1): 32-37.
Intellisense 公司已经开发了一种集成光学陀螺仪,这种陀螺仪不仅具有光纤陀螺仪的灵敏度,同时利用批量微加工工艺实现了机械MEMS陀螺仪一样的低成本。
基本的制作技术包括了一个光波谐振波导芯片,传感器电路和光学基底。传感单元基于一个集成光学波导芯片,其中相向传播的光场通过Sagnac效应被用来测量的波导面的旋转。传感单元由半导体激光光源驱动,激光器的输出光耦合进入一个波导,分光后进入两个波导臂。在两个输出端分别对光信号进行检测,由两路光信号的相位差得出旋转角速率值。
测量角运动对于很多系统的正常工作来说都具有重要意义。例如:导弹导航系统、卫星系统、能源开发系统、相机稳定系统、自动定位系统、平台稳定系统和空间飞行器的导航系统等等。这种陀螺仪克服了已商业化的陀螺仪在体积、精确度、灵敏度、耐用性和高昂的价格等方面的局限性。