一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.03.011

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (3) : 49-53. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.03.011

仪表与电路

一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计

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A Novel Design of MEMS Gyroscope Based on High Linearity Bow-shaped Beam

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