薛旭, 梁新建, 李丹东, 冯舟, 李宏生
真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施。通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98%,极大地提高了MEMS陀螺仪整表的精度水平和工程化能力,在此基础上,针对高Q值陀螺仪稳幅及稳频控制的难点,设计了一种基于随动控制的自动增益控制回路(AGC),在理论仿真的基础上,完成了系统及电路设计,实测驱动轴幅度稳定性为50ppm,频率稳定性为6ppm,上电起振时间优于200ms。采用真空封装技术及高精度AGC控制设计方案使得MEMS陀螺仪整表零偏稳定性达到37°/h,标度因数非线性度为0.2%(FS),标度因数重复性为35ppm,并存在很大的提升潜力。