惯性微系统封装集成技术研究进展
李男男, 邢朝洋
Development of Inertial Micro-system Packaging and Integration Technology
LI Nan-nan, XING Chao-yang
导航与控制 . 2018, (6): 28 -34 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2018.06.005

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