面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器

面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器

王秋, 刘骅锋, 涂良成

High-precision MEMS Inertial Sensors for Geophysical Applications

WANG Qiu, LIU Hua-feng, TU Liang-cheng

导航与控制 . 2018, (6): 1 -9 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2018.06.001