MEMS惯性器件工程化测试体系研究
徐国平, 王甫, 乔伟, 周建国
Research of Mass Production Testing System for MEMS Inertial Component
XU Guo-ping, WANG Fu, QIAO Wei, ZHOU Jian-guo
导航与控制 . 2017, (6): 64 -67 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.06.012

版权所有 © 《导航与控制》编辑部
地址：北京市142信箱403分箱　
邮编：100854　
电话：010-68693183　
E-mail：dhykz@163.com
技术支持：北京玛格泰克科技发展有限公司