MEMS惯性器件工程化测试体系研究
徐国平, 王甫, 乔伟, 周建国
Research of Mass Production Testing System for MEMS Inertial Component
XU Guo-ping, WANG Fu, QIAO Wei, ZHOU Jian-guo
导航与控制 . 2017, (6): 64 -67 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.06.012

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