微系统集成技术发展与展望
单光宝, 朱嘉婧, 郑彦文, 邢朝洋
Recent Development and Perspectives of Microsystem Integration Technology
SHAN Guang-bao, ZHU Jia-jing, ZHENG Yan-wen, XING Chao-yang
导航与控制 . 2022, (3-4): 20 -28 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.003

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