硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

王超, 胡启方, 王岩, 张玲, 庄海涵

Structure Design and Simulated Optimization of Silicon Resonant Accelerometer

WANG Chao, HU Qi-fang, WANG Yan, ZHANG Ling, ZHUANG Hai-han

导航与控制 . 2016, (1): 41 -46 . DOI: 10.3969/j.issn. 1674-5558.2016.01.008