利用深度反应离子蚀刻技术制造的摆式振荡陀螺加速度计

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导航与控制 ›› 2003, Vol. 2 ›› Issue (4) : 46-50.

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利用深度反应离子蚀刻技术制造的摆式振荡陀螺加速度计

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2003-11-05
发布日期
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