基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

doi:10.3969/j.issn.l674-5558.2015.06.013

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导航与控制 ›› 2015, Vol. 14 ›› Issue (6) : 70-74. DOI: 10.3969/j.issn.l674-5558.2015.06.013

基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

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Sensitivity Analysis of Micro-grating Accelerometer Based on Electrostatic Rigidity

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收稿日期	出版日期
2014-10-17	2015-12-05
发布日期
2020-05-28

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