电容式MEMS陀螺仪低噪声读出电路的集成化设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.014

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 152-159. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.014

MEMS惯性技术专辑

电容式MEMS陀螺仪低噪声读出电路的集成化设计

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Integrated Design of a Low-noise Readout Circuit for Capacitive MEMS Gyroscope

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收稿日期	出版日期
2025-03-21	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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