抗高过载微机电系统加速度传感器设计与试验

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.010

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 111-125. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.010

MEMS惯性技术专辑

抗高过载微机电系统加速度传感器设计与试验

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Design and Experimentation of A MEMS Accelerometer with High Overload Resistance

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收稿日期	出版日期
2025-04-15	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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