基于腔光力系统与抗塌陷脊波导的微陀螺仪集成设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.007

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 83-91. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.007

MEMS惯性技术专辑

基于腔光力系统与抗塌陷脊波导的微陀螺仪集成设计

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Integrated Design of Micro-gyroscope Based on Cavity Optomechanical System and Anti-collapse Ridge Waveguide

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收稿日期	出版日期
2025-04-24	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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