小量程高标度因数石英谐振加速度计研究

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.005

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 65-72. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.005

MEMS惯性技术专辑

小量程高标度因数石英谐振加速度计研究

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Research on Quartz Resonant Accelerometer with Small Range and High Scale Factor

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收稿日期	出版日期
2025-04-23	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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