抗高过载MEMS惯性器件及测试设备概述

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.002

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (3-4) : 13-39. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.h3.002

MEMS惯性技术专辑

抗高过载MEMS惯性器件及测试设备概述

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Overview of Anti-high-overload MEMS Inertial Devices and Test Equipment

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收稿日期	出版日期
2025-04-29	2025-08-05
发布日期
2025-09-04

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