微半球陀螺谐振子制造工艺研究现状

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2025.01.002

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导航与控制 ›› 2025, Vol. 24 ›› Issue (1) : 12-24. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2025.01.002

综述

微半球陀螺谐振子制造工艺研究现状

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Research Progress of Manufacturing Technology for Micro Hemispherical Gyroscope Resonator

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收稿日期	出版日期
2024-05-26	2025-02-05
发布日期
2025-03-12

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