三十年不断发展的MEMS惯性传感器

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2023.04.001

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导航与控制 ›› 2023, Vol. 22 ›› Issue (4) : 1-4. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2023.04.001

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三十年不断发展的MEMS惯性传感器

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Continuous Development of MEMS Inertial Sensors for Thirty Years

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收稿日期	出版日期
2023-07-25	2023-08-05
发布日期
2023-11-17

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