基于可调感温电桥的MEMS传感器恒温控制模型研究

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2023.03.011

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导航与控制 ›› 2023, Vol. 22 ›› Issue (3) : 76-85. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2023.03.011

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基于可调感温电桥的MEMS传感器恒温控制模型研究

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Research on MEMS Sensor Oven-controlled Model with Adjustable Temperature Sensing Bridge

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收稿日期
2022-08-29
发布日期
2023-08-14

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