微系统TSV多物理场耦合分析及结构优化

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.008

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导航与控制 ›› 2022, Vol. 21 ›› Issue (3-4) : 67-77. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.008

微系统专辑——微系统建模与仿真

微系统TSV多物理场耦合分析及结构优化

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Multiphysics Coupling Analysis and Structural Optimization of TSVs in Microsystems

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收稿日期	出版日期
2022-04-10	2022-08-05
发布日期
2022-11-07

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