基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.004

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导航与控制 ›› 2022, Vol. 21 ›› Issue (3-4) : 29-39. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.004

微系统专辑——微系统技术综述

基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

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Recent Advances of Radio Frequency Acoustic Wave Filters Based on Piezoelectric Heterogeneous Substrates

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收稿日期	出版日期
2022-04-13	2022-08-05
发布日期
2022-11-07

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