微机电系统陀螺仪单层隔热槽结构优化设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2021.05.015

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导航与控制 ›› 2021, Vol. 20 ›› Issue (5) : 148-156. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2021.05.015

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微机电系统陀螺仪单层隔热槽结构优化设计

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Optimization of Single Layer Thermal Isolation Slot for MEMS Gyroscope

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