一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2019.06.014

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导航与控制 ›› 2019, Vol. 18 ›› Issue (6) : 100-106. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2019.06.014

传感器与执行机构

一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路

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A New Low-noise Capacitive Readout Circuit for Silicon Micro-machined Gyroscope

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收稿日期	出版日期
2018-11-28	2019-12-05
发布日期
2020-02-25

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