压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2019.04.009

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导航与控制 ›› 2019, Vol. 18 ›› Issue (4) : 59-64. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2019.04.009

惯性加速度计技术

压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析

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Investigation on Mechanical Isolation of Packaging Stress in Piezoresistive Accelerometer

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收稿日期	出版日期
2019-05-24	2019-08-20
发布日期
2019-11-19

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