单片集成三轴微机电陀螺仪

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2017.02.011

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导航与控制 ›› 2017, Vol. 16 ›› Issue (2) : 58-63. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.02.011

仪表与电路

单片集成三轴微机电陀螺仪

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Monolithic Integrated Tri-axis MEMS Gyroscope

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收稿日期	出版日期
2016-05-03	2017-04-05
发布日期
2020-05-15

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