MEMS静电悬浮陀螺仪悬浮支承控制器设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2014.06.007

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导航与控制 ›› 2014, Vol. 13 ›› Issue (6) : 34-39. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2014.06.007

元器件技术

MEMS静电悬浮陀螺仪悬浮支承控制器设计

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Design of a Suspension Controller of the Micro Electrostatically Suspended Gyroscope

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收稿日期	出版日期
2014-03-25	2014-12-05
发布日期
2019-12-18

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