硅微陀螺平板结构的压膜阻尼研究

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2014.04.009

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导航与控制 ›› 2014, Vol. 13 ›› Issue (4) : 41-46. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2014.04.009

仪表与电路

硅微陀螺平板结构的压膜阻尼研究

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Study on the Squeeze-film Damping of the Plate Structure of the Silicon Micro-machined Gyroscope

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2014-08-05
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