硅微静电悬浮陀螺微位移检测电路噪声分析

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2014.01.006

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导航与控制 ›› 2014, Vol. 13 ›› Issue (1) : 24-28. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2014.01.006

仪表与电路

硅微静电悬浮陀螺微位移检测电路噪声分析

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Noise Analysis of Micro-displacement Detection Circuit of MESG

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