静电悬浮微加速度计气膜阻尼分析

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2012.03.012

PDF(1115 KB)

导航与控制 ›› 2012, Vol. 11 ›› Issue (3) : 52-55. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2012.03.012

仪表与电路

静电悬浮微加速度计气膜阻尼分析

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Analysis of Gas Film Damping in Electrostatically SuspendedMicromechanical Accelerometer

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

文章历史 +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2012, 11(3): 52-55 https://doi.org/10.3969/j.issn.1674-5558.2012.03.012

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2012, 11(3): 52-55 https://doi.org/10.3969/j.issn.1674-5558.2012.03.012

中图分类号：

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(1115 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权



发布日期
2020-03-07

模态框（Modal）标题

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权