静电悬浮微机械加速度计检测电路设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.04.005

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (4) : 22-26. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.04.005

仪表与电路

静电悬浮微机械加速度计检测电路设计

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A Design of Electrostatically Suspended Micromechanical Accelerometer Signal Sensing Circuit

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