硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.04.004

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (4) : 16-21. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.04.004

仪表与电路

硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计

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Design of 6-Degree of Freedom Suspension Control System for a Si-substrate Micromachined Accelerometer

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