静电悬浮微加速度计高灵敏度电容检测通道设计

doi:10.3969/j.issn.1674-5558.2011.02.006

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导航与控制 ›› 2011, Vol. 10 ›› Issue (2) : 22-25. DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.02.006

仪表与电路

静电悬浮微加速度计高灵敏度电容检测通道设计

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Design of High-sensitivity Capacitive Displacement Sensing Channel for Micromachined Electrostatically Suspended Accelerometer

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